課題與提升
列出我們能夠為設備商及使用者提供的修改及提升方向。
- 變形
- 成本
- 粒子
- 電導率
- 吸痕
- 靜電
- 翹曲的晶圓
- 生產率(吞吐量)
- 雜質
- 火花
- 晶圓划痕
- 產品更換工時
- 放氣
- 表面電阻
- 晶圓貼合
- 反射率
- 透氣性
- 棉絨的附著力
- 錯位
- 堵塞
- 抗等離子
- 成品率
- 接觸損壞
- 產品壽命
- 粉塵產生
- 不良率
- 耐熱
- 污染
- 磨耗
- 功能性
- 耐化學性
- 耐腐蝕性能
- 金屬污染對策
- 提高耐磨性
- 改進的功能
- 晶圓劃傷預防
- 靜電對策
- 提高耐熱性
- 可移植性
- 晶圓翹曲對策
- 提高耐化學性
- 提高生產力
- 防止錯位
- 減少不良率
- 提高生產率(提高吞吐量)
- 耐磨性
- 抑制接觸損傷
- 提高產量
- 減少工時
- 表面電阻值控制
- 磨損保護
- 吸附疤痕抑制
- 抑制放氣
- 應變抑制
- 改善等離子抗性
- 長壽
- 污染措施
- 降低成本