抗靜電中空一體成型搬運手臂

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金佳美抗靜電中空一體成型搬運手臂〈主要用於半導體前段製程設備〉

1.採用中空一體成型搬運手臂，不使用黏結劑，避免汙染

2.盡全力達到最新semi-E78-0222之最嚴苛標準，目前表面靜電壓為6v

3.可選用抗靜電陶瓷材料，表面電阻為10的5次方到10的9次方 ohm.cm電阻值可訂製指定值或更小區間，10的5，10的6，10的7……非一般表面coating產品，我司材料本身抗靜電

4.可選用導電陶瓷材料，電阻值為10的4次方及以下

5.可選用絕緣陶瓷材料白色氧化鋁，電阻值為10的10次方及以上

6.特殊燒結製成，單位密度及結構強度具有優勢

7.一體成形中空管道可加裝傳感器線路，結合軟件共同使用〈與戰略合作夥伴開發中〉

8.按客戶需求開發形狀結構，電阻值，可結合我們另一專利多孔陶瓷材料結合手臂原有的晶圓吸附口

9.多孔抗靜電陶瓷在真空吸附手臂之應用，晶圓在X-ray檢測之下有效降低吸附印痕，需要更多實際應用場景，誠邀企業朋友們共同合作開發。

10.最新開發複合陶瓷材料，特殊一體燒結三層陶瓷材料，中間層為絕緣，上層為導電陶瓷，下層為絕緣陶瓷，此材料也可疊加應用在搬運手臂上。

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