＜電話咨詢・報價＞
TEL. +886 034985509 +886 0972151715營業時間：9:00~17:00
＜長期合作客戶 on call服務＞
FAX. +886 03-498-4736
Etching蝕刻
主流的乾蝕刻電漿蝕刻〈ICP〉,將蝕刻氣體解離以電漿方式存在，施加電場且裝設線圈增加額外的電場（更多電漿）解離的氣體離子往晶片表面移動，對晶片上的薄膜進行化學反應。
Kingcera先進的陶瓷元件可以承受乾蝕刻室的極端環境,尤其適合應用在業界主流ICP高密度電漿蝕刻機。
主要供應：Focus rings
Nozzles
Shields
Showerheads
Other custom components
可選用的材料：絕緣Al2O3、抗靜電Al2O3、SIC,氮化鋁、氧化鋯、及依特性開發所需的陶瓷複合材料，及其他非陶瓷材料。
 |  |  |  |
 |  |  |  |
 |  |  |
CONTACT
接緊急單 ON
CALL 專線
TEL. +886-972-151-715