專業提供抗靜電陶瓷晶圓搬運手臂、半導體製程陶瓷零組件

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Ion implantation 離子植入

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Ion implantation 離子植入

 

是積體電路製造中不可或缺的一環。隨著晶片設計的日益複雜,所需的離子植入的步驟也相對增加。相對應的離子植入陶瓷元件的需求量也持續提高,kingcera 陶瓷零件穩定供應給離子植入設備商已十多年,以優異的品質銷售海內外。

 

可選用的材料:絕緣Al2O3、抗靜電Al2O3、碳化矽SIC、氮化鋁AIN、氧化鋯ZrO2、及依特性開發所需的陶瓷複合材料。

 

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